起步时候咱们可不落后，早在上世纪60年代，中科院就搞出了65型接触式光刻机，那时候ASML这公司还没影儿呢。

　　中国这边1965年就有了接触式设备，基本和国际上差不多同步，甚至比一些地方早。

　　那个年代，科研条件艰苦，但大家咬牙坚持，1972年武汉无线电元件三厂还出了本小册子，讲光刻掩模制造，标志着工艺研究正式上路。

　　1980年，清华大学团队完成第四代分步投影光刻机，精度到3微米，这水平接近国际主流。

　　1982年中科院109厂的KHA-75-1型，跟当时佳能差距最多四五年。

　　1985年，机电部45所的分步投影样机，通过鉴定，相当于美国4800DSW水平。

　　1975年投入自动对准分步投影机研制，1980年成功，线微米，填补国内空白，通过国家鉴定。

　　1980年代，他还带队搞分布投影机，清华大学成国内唯一生产高端光刻机的单位。

　　中美1971年建交，关系缓和，美国那边表示高精尖东西可以卖，不用费劲自研，省钱省力。

　　ASML不是一家之力，集合欧美供应链，台积电三星Intel支持。浸没式DUV是台积电林本坚思路，EUV美国理论原型给ASML完善。

　　进入21世纪，中国半导体复苏。2002年上海微电子装备公司成立，科技部上海市支持。

　　清华大学华卓精科双工件台2016年建成，继ASML后第二家。上海微电子90nm量产。

　　2021年集成电路标准化委员会成立，90家单位包括华为中芯。上海微电子计划2022交付28nm机。

　　这历程发人省。早期自力更生，差距小；后来依赖进口，落后大。但路长，供应链复杂，短期难赶。

　　近两日，辽宁大连、吉林松原两地陆续迎来新任市长:李强当选大连市市长，张兆义当选松原市市长。据“大连发布”公众号消息，1月16日下午，大连市第十七届人民代表大会第五次会议举行第三次全体会议，选举李强为大连市人民政府市长。

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　　中央办公厅发文明确！聚焦农村群众身边不正之风和腐败问题，重点关注强农惠农富农补贴资金发放等

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